摘要:本文设计了由弹性层、保护层和流体层组成的层状结构声表面波流体传感器。基于声表面波位移假设并结合边界条件,建立了声表面波在层状结构中传播的波速方程。数值计算结果表明随着流体层厚度的不断增加,流体层的质量效应在增强,波速也逐渐趋向于流体层的声表面波波速。通过精确设计传感器尺寸,可以对微量流体进行质量和密度检测。
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